电子级氢氟酸设备

成立于2019年,注册资金5885万元现已发展成为一家集氟塑设备制造、制程系统开发与应用于一体的专业制造商

ISO9001认证
电子级氢氟酸EPC总包
G1-G5级电子级氢氟酸EPC总包

集研发·设计·生产·销售·服务安装一体

捷创新材料成立于2019年,位于江苏宿迁苏宿工业园区,注册资金5885万元人民币,拥有30000㎡的生产车间、15000㎡的净化车间及1000㎡的产品研究室。公司现有员工400余人,其中技术类人员150余人。
公司自成立以来,始终坚信专业创造价值,经过数年深耕,现已发展成为一家集氟塑设备制造、制程系统开发与应用于一体的专业制造商,产品广泛应用于高-端湿电子化学品、电子特气等行业。通过对技术研发的持续投入,公司现已拥有多项发明专利和实用新型专利,产品标准已达国际半导体G5、G6标准,处于国内外领-先水平,填补了高-端电子化学品制程系统的国内空白,实现了进口替代,打破了国-际垄断。

公司发展至今,已具备完整的工艺包、强大的工程技术能力、先-进的高-端设备生产制造水平及丰富的生产管理经验,将持续为广大电子化学品和电子特气行业客户提供成套交钥匙工程;同时,公司拥有的气化工程总承包资质(半导体、面板、光伏行业特气和化学系统项目),能够为半导体及电子化学品行业提供全方位的产品设计及工程服务。

“客户至-上,用心服务”是公司的经营理念,标准、领-先、合作、创-新是公司矢志不渝的追求。未来,公司仍将坚持致力于专业领域,力争成为国-际一-流的专业制造商。产品标准已达半导体G5、G6标准,电子级氢氟酸,电子级硫酸,电子级硝酸,电子级盐酸,电子级双氧水,电子级氨水,电子级超纯水EPC总包源头厂家

13485093350(联系人:赵总)
技术咨询 · 批量定制 · 质量至上
捷创新材料宣传图

晋城电子级氢氟酸EPC总包

电子级氢氟酸

晋城电子级氢氟酸

气化工程总承包资质(半导体、面板、光伏行业特气和化学系统项目)

老牌专业资质

现已发展成为一家集氟塑设备制造、制程系统开发与应用于一体的专业制造商,产品广泛应用于高-端湿电子化学品、电子特气等行业。通过对技术研发的持续投入,公司现已拥有多项发明专利和实用新型专利,产品标准已达国际半导体G5、G6标准

电子级氢氟酸EPC一站式服务

产品标准已达国-际半导体G5、G6标准

规模化产能

注册资金5885万元人民币,拥有30000㎡的生产车间、15000㎡的净化车间及1000㎡的产品研究室。公司现有员工400余人,其中技术类人员150余人

名企共同选择

服务xxx、xxx、xxx、xx、xx、xxx等众多知名企业。

产品百科

G4级电子级氢氟酸工艺设计与安装的核心在于‌垂直流向布局‌、‌高纯材料选型‌及‌百级洁净环境控制‌,以确保金属杂质含量≤10ppt、颗粒控制达标。‌‌

核心工艺设计要点

  • 流程架构‌:采用“化学预处理→精馏提纯→超纯水吸收→亚微米超滤”四级纯化路线。工业无水HF经预处理后进入精馏塔,气态HF在吸收塔用超纯水逆流吸收,最后经0.05μm以下PTFE膜过滤。
  • 布局原则‌:严格执行‌垂直重力流设计‌。原料与中间产物自上而下流动(精馏在中部,过滤灌装在底层),最大限度减少泵送次数,避免二次污染并降低能耗。
  • 关键指标‌:G4级要求金属杂质总和通常控制在‌10ppt‌级别,颗粒(≥0.05μm)数量严格受限,需配套在线ICP-MS监测。‌‌

安装与设备选型规范

  • 材质要求‌:所有接触介质设备、管道、阀门必须采用‌PFA、PTFE或PVDF‌等含氟聚合物内衬或整体材质;不锈钢部件仅限非接触区,且需经过特殊钝化处理。
  • 洁净环境‌:灌装区、过滤区及分析室需达到‌ISO 5级(百级)‌洁净标准,正压控制防止外部微粒侵入;地面、墙面需采用无缝耐腐蚀材料。
  • 密封与防漏‌:采用双密封机械结构或焊接连接,杜绝法兰泄漏风险;尾气系统需配置两级碱洗塔,确保酸性气体零排放。‌‌

施工与验收关键

  1. 管道清洗‌:安装前所有管路需经高纯HF循环清洗及超纯水冲洗,直至检测合格。
  2. 气密性测试‌:系统需进行氦质谱检漏,确保无微漏点。
  3. 验证测试‌:投料前需进行空载运行验证,投产后首批产品需通过第三方权威机构(如SEMATECH标准)全项检测方可出厂。‌‌

注:G4级适用于8-12英寸晶圆制造及部分先进封装,具体参数需依据SEMI C33/C34标准及客户特定规格书执行

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